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所有的半导体材料都需要对原料进行提纯，要求的纯度在6个“9”以上，Zui高达11个“9”以上。提纯的方法分两大类，一类是不改变材料的化学组成进行提纯，称为物理提纯；另一类是把元素先变成化合物进行提纯，再将提纯后的化合物还原成元素，称为化学提纯。物理提纯的方法有真空蒸发、区域精制、拉晶提纯等，使用Zui多的是区域精制。化学提纯的主要方法有电解、络合、萃取、精馏等，使用Zui多的是精馏。由于每一种方法都有一定的局限性，因此常使用几种提纯方法相结合的工艺流程以获得合格的材料。

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